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十八大代表风采录:顶天立地
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http://www.youth.cn    2012-08-27 14:31:44    中国青年网

  穿上净化服、戴上口罩、经过强风的“风淋”后,记者走进了上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室。

  这里是我国最先进的高端硅基集成电路晶圆片材料SOI研发平台,也是中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士为之奋斗十多年的地方。

  这些看上去光润无瑕、如同一面面灰色圆镜的SOI材料,专业名称叫“绝缘体上的硅”,是国际公认的21世纪新一代硅基材料。

  早在20世纪80年代初,中科院就已经开始SOI技术研究,但仅仅停留在论文上,从没有走出实验室。眼看国际上SOI产业化应用技术突飞猛进,1998年,王曦放弃国外优越生活,毅然回国挑起了中科院SOI项目的“大梁”。

  为了尽快赶上国际先进水平,王曦带领科研团队通宵达旦地在实验室里加班加点,他们采用工程化管理,每个阶段都设定了指标。“离子注入”是王曦钻研多年的SOI材料制备中的关键技术。回国后,王曦成功地利用创新技术完成了SOI材料技术工程化研究,建立了生产线。

  刚开始,生产线上做出来的SOI硅片瑕疵斑点很多,如同一片片“麻饼”。经过漫长的艰苦跋涉、昼夜奋战,他带领团队终于生产出一个个光润无瑕、晶莹剔透的“三明治”圆片。

  创建公司、将SOI材料产业化是王曦人生中第二个重要选择。2001年,在国家有关部委和中科院领导的支持下,王曦带领SOI项目组骨干创建了上海新傲科技有限公司。

  2002年,中国第一批商业化生产的SOI圆片问世,这让美国硅谷惊呆了。当地《半导体商业新闻》曾惊呼:就像在一夜之间,中国“突然冒出了一个现代化的高端集成电路硅基片企业”。

  2006年,王曦负责的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目荣获国家科技进步奖一等奖,在关键技术上取得一系列重大创新,申请国家发明专利32项,并已获授权16项。

  王曦说:“作为一名科研人员,我们一定要紧紧围绕国家战略树立‘顶天立地’做科研的理念。‘顶天’就是要在基础研究方面与世界同步,‘立地’就是要在产品的产业化方面扎得深、做得好。”

编辑:商春竹 来源:工人日报
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